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    微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀

    更新時間:2024-06-04

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    微納結(jié)構(gòu)三維形貌測量儀系列微納結(jié)構(gòu)三維形貌檢測儀,基于白光干涉掃描原理,以光波長作為測量基準,利用納米級高精度掃描系統(tǒng)結(jié)合具有自主知識產(chǎn)權(quán)的高精度解析算法,實現(xiàn)連續(xù)或臺階突變微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌重構(gòu),由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數(shù)測量結(jié)果。
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