亚洲国产精品suv,名门嫡姝-213大h慎入,麻豆av天堂一二三区视频,z0ozo0人善之交另类

您好!歡迎訪問安徽智微科技有限公司網(wǎng)站!
全國(guó)服務(wù)咨詢熱線:

13951825145

當(dāng)前位置:首頁(yè) > 技術(shù)文章 > 關(guān)于光刻機(jī)的詳細(xì)說明

關(guān)于光刻機(jī)的詳細(xì)說明

更新時(shí)間:2023-02-03      點(diǎn)擊次數(shù):1922
光刻機(jī)(Mask Aligner)是制造微機(jī)電、光電、二極體大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備。其分為兩種,一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時(shí)模板緊貼晶圓;另一種是利用類似投影機(jī)原理的stepper,獲得比模板更小的曝光圖樣。
光刻機(jī)可采用紫外光、深紫外光、甚至更短波長(zhǎng)的*紫外光作為光源,用DMD數(shù)字微鏡陣列**傳統(tǒng)掩模板,采用積木 錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)高均勻照明。
光刻機(jī)通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,不同光刻機(jī)的成像比例不同,有5:1,也有4:1。
一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復(fù)雜的芯片,線路圖的層數(shù)越多,也需要更精密的曝光控制過程。
測(cè)量臺(tái)、曝光臺(tái):承載硅片的工作臺(tái),也就是本次所說的雙工作臺(tái)。
光束矯正器:矯正光束入射方向,讓激光束盡量平行。
能量控制器:控制*終照射到硅片上的能量,曝光不足或過足都會(huì)嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。
光束形狀設(shè)置:設(shè)置光束為圓型、環(huán)型等不同形狀,不同的光束狀態(tài)有不同的光學(xué)特性。
遮光器:在不需要曝光的時(shí)候,阻止光束照射到硅片。
能量探測(cè)器:檢測(cè)光束*終入射能量是否符合曝光要求,并反饋給能量控制器進(jìn)行調(diào)整。
掩模版:一塊在內(nèi)部刻著線路設(shè)計(jì)圖的玻璃板。
掩膜臺(tái):承載掩模版運(yùn)動(dòng)的設(shè)備,運(yùn)動(dòng)控制精度是nm級(jí)的。
物鏡:物鏡由20多塊鏡片組成,主要作用是把掩膜版上的電路圖按比例縮小,再被激光映射的硅片上,并且物鏡還要補(bǔ)償各種光學(xué)誤差。技術(shù)難度就在于物鏡的設(shè)計(jì)難度大,精度的要求高。
硅片:用硅晶制成的圓片。硅片有多種尺寸,尺寸越大,產(chǎn)率越高。題外話,由于硅片是圓的,所以需要在硅片上剪一個(gè)缺口來確認(rèn)硅片的坐標(biāo)系,根據(jù)缺口的形狀不同分為兩種,分別叫flat、notch。
內(nèi)部封閉框架、減振器:將工作臺(tái)與外部環(huán)境隔離,保持水平,減少外界振動(dòng)干擾,并維持穩(wěn)定的溫度、壓力。 
安徽智微科技有限公司
地址:安徽省合肥市經(jīng)開區(qū)尚澤大都會(huì)A座2214
郵箱:1053185136@qq.com
傳真:
關(guān)注我們
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)了解更多信息:
歡迎您關(guān)注我們的微信公眾號(hào)
了解更多信息
胸部隐隐约约的疼怎么回事| 意大利极品xxxxhd| 国产精品v欧美精品v日韩精品| 亚洲精品无码mv在线观看| 日本少妇做爰全过程毛片| 私人影院播放器| 久久国产加勒比精品无码| 我疯狂的挺进老师的身体| 精品国模一区二区三区| 少爷湿润粗大跪趴含bl| 欧美性xxxxx极品老少| 777久久精品一区二区三区无码| 老狼影院成年女人大片| 野花社区日本在线观看免费观看3| 公交车被cao得合不拢腿视频| 亚洲天天做日日做天天爽| 宁柔柔的小泬撑开到极致| 凹凸在线无码免费视频| 嫩模自慰一区二区三区| 晚上睡不着看点害羞的东西| 女人高潮时一吸一夹| 天天躁日日躁狠狠躁日日躁| 国产农村妇女作爱视频播放| 欧美午夜精品久久久久免费视| 欧美综合缴情五月丁香六月婷| 亚洲国产日韩a在线欧美2020| 亚洲va无码手机在线电影| 夜夜爽日日澡人人添| 亚洲av无码久久| 女人18高潮特黄a片| 久久久久亚洲av片无码| 在线观看国产一区二区三区| 小妖精抬起臀嗯啊h军人| 一夜未拔h-山里猎户| 护士也疯狂 电影| 国产精品sp调教打屁股| 色婷婷丁香五月久久综合| 成在线人AV免费无码高潮喷水| 99亚洲精品自拍av成人软件| 亚洲AV成人无遮挡网站在线观看| 狠狠五月色婷婷蜜桃777|